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先进气体测控，选择研创，选择放心
阀门分配箱 VMB
| 产品特点1：实现原料从供应源到使用点的多点分配 |
| 产品特点2：柜体板材厚度≥2.5mm，配置防爆夹丝玻璃观察窗，具有防爆功能 |
| 主要功能1：氮气吹扫、排放、扩充、抽真空、压力测试、紧急情况下的自动安全切断 |
| 主要功能2：配置入口精密颗粒过滤器（≤0.003μm）、高低压显示压力表、调压阀、隔膜阀等 |
| 主要功能3：配置气体泄露侦测器，与紧急切断阀联动，并发出声光报警 |
| 主要功能4：柜内管阀件采用SS316L,Ra≤0.25μm，泄漏率≤1.0×10-9mbar.L/s |
| 主要功能5：特殊气体采用双套管工艺，并配置管道伴热 |
| 主要功能6：柜体配置DN100排风阀，可满足300~400m³/h风量，维持柜内负压，可选配风机等附件 |
| 适用场合：主要要适用于IC、TFT、Solar、LED等工厂的供气需求。 |
| 适用气体：易燃/自燃性气体、腐蚀性、毒性，如SiH4,NF3,NH3,N2O,HCL等 |
